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如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護

更新時間：2023-06-30 點擊次數：4674
   如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護？
 
  薄膜沉積控制儀安裝時注意保持水平位置，對薄膜沉積控制儀與地基的結合面和出風管的聯接等，應調整使之自然吻合不得有強行聯接，不允許將管道重量加在薄膜沉積控制儀的部件上。
 
  薄膜沉積控制儀時應對各部件進行全面檢查，機件是否完整，各部件聯接是否緊固。薄膜沉積控制儀在運轉時如發(fā)現有劇烈的振動撞擊等反?，F象必須立即停車檢查。薄膜沉積控制儀在露天使用應有防雨措施。按期清除薄膜沉積控制儀內部積灰、污垢等雜質，并防止銹蝕。
 
  以上內容就是薄膜沉積控制儀在日常維護中標準化的流程，希望大家可以了解更多。
 

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